Electronlithography Tool for Ice Lithography

Informasjon

15 - Intensjonskunngjøring
Veiledende kunngjøring - ikke konkurranse
10.12.2018 08.27 (GMT+01:00)

Innkjøper

Danmarks Tekniske Universitet Danmarks Tekniske Universitet
Alexi Burns-Tang Alexi Burns-Tang
Anker Engelundsvej 1
2800 Kongens Lyngby
Danmark
30060946

Tildelingsinformasjon

The purchase relates to a refurbished four year old demo model of an electronlithography tool. The main unit is an eLINE Plus tool from Raith equipped with a 30 kV Gemini column from Zeiss, an interferometer controlled precision stage and beamsteering control system and software from Raith. The eLINE tool extinguishes itself beyond the column and stage especially by its flexibility due to a voluminous chamber with numerous flanges for attaching other components. This large flexibility is required to have room for cryo installations, sample transfer unit(s), Gas Injection System (GIS) as well as analytical tools.

Mercell Norge AS

Del av Mercell-gruppen, en av Europas ledende leverandører av elektroniske anbudsverktøy og informasjon mellom innkjøpere og leverandører i det profesjonelle markedet.

Kontakt oss

Klikk her for å gå til support

+47 21 01 88 00