FIB-SEM:
NTNU NanoLab er kjerne fasiliteten innenfor NorFab for høy oppløsning prosessering og karakterisering, og den foreslåtte vil støtte hovedsakelig høy utdanning, forskning og utvikling for NorFab brukere. Formålet med denne anskaffelsen er å møte behovene til våre NanoLab brukere. FIB-SEM vil komplettere vår nåværende FIB-SEM-system, nå som tiden på instrumentet har økt til 3500 timer per år og etterspørselen er ventet å øke.
Innenfor norsk renrom nettverk Norfab, er NTNU NanoLab kjernefasiliteten for høy oppløsning prosessering og karakterisering. En eksisterende FEI Helios Nanolab FIB-SEM-systemet har vært i bruk i renrom siden 2009 og brukes daglig i en rekke ulike forsknings applikasjoner, inkludert nanostrukturering, tomografi, TEM lamell forberedelser og klargjøring av prøver for nanomekanisk testing. Bruk av tid på eksisterende instrument har nå nådd 3500 timer / år, og etterspørselen er forventet å fortsette å øke i fremtiden.
Formålet med denne anskaffelsen er å lindre det økende behovet for instrument tilgjengelighet og gi en oppdatert instrument som kan dekke NanoLab behov for verktøy som kan høyoppløselig mønster og karakterisering av forskjellige materialer i et flerbrukersystem. Den foreslåtte instrument / løsningen skal brukes for høy utdanning og forskning på en rekke applikasjoner og materialer diktert av de stadig økende behov hos NanoLab brukere.
SEM:
Det foreslåtte vil støtte hovedsakelig høy utdanning og forskning for NorFab brukere. Formålet med denne anskaffelsen er å møte behovene til våre NanoLab brukere ved NTNU NanoLab. SEM vil bli brukt som en karakterisering verktøyet som en del av en prosesslinje basert på litografi, tynn film og EBL.
Som et NorFab anlegg, er det flere forskjellige litografi (optisk, elektronstråle, nanoimprint) og tynne film prosesslinjer til stede ved NTNU NanoLab. Formålet med denne anskaffelsen er å møte den økende etterspørselen / behovet for en høy ytelse, stor-kammer karakterisering / inspeksjonsverktøy som en del av disse prosesslinjer. Den foreslåtte instrument / løsning vil støtte høy utdanning og forskning for NorFab brukere i et flerbrukersystem.