Dato for innlevering er passert
Målet med denne anskaffelsen er å imøtekomme behovene til Fakultet for Naturvitenskap og Teknologi innen tørring av tynne, dielektriske filmer med et system basert på induktivt koblet plasma for reaktiv ionetning (ICP-RIE). Systemet vil hovedsakelig bli brukt til forsknings- og studentundervisningsformål.