Tildelingsinformationer
Aplinkos atmosferai jautrių puslaidininkinių funkcinių, nanostruktūrizuotų sluoksnių cheminio nusodinimo ir jų terminio apdorojimo kompleksą sudaro trys dalys:
— pirma pirkimo dalis: pagrindų / padėklų paruošimo jonizuotomis dujomis priedas, 1 vnt.,
— antra pirkimo dalis: hidroterminės sintezės įrenginys, 1 vnt.,
— trečia pirkimo dalis: HIPIMS generatorius magnetronui su DC srovės šaltiniu, 1 vnt.